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碳化硅舟

西安中威(ZHWE)®系列碳化硅陶瓷晶舟,SIC晶舟,陶瓷晶舟純度>99.675%使用壽命長(zhǎng)>5年主要應(yīng)用于太陽(yáng)能、半導(dǎo)體擴(kuò)散制程。具有耐磨損、耐腐蝕、耐高溫沖擊,耐電漿轟擊、高溫承載力大、高導(dǎo)熱、高散熱、長(zhǎng)期使用不易彎曲變形,特點(diǎn)。


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